发明名称 Reinigungsvorrichtung für Vakuumleitung in einer Substrat-Bearbeitungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69720644(D1) 申请公布日期 2003.05.15
申请号 DE1997620644 申请日期 1997.10.29
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 PANG, BEN;CHEUNG, DAVID;TAYLOR, JR.;RAOUX, SEBASTIEN;FODOR, MARK
分类号 B03C3/02;B01D45/06;B01D53/32;B01D53/46;B01J19/08;B01J19/12;B01J19/24;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31;H05H1/24;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 B03C3/02
代理机构 代理人
主权项
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