发明名称 ILLUMINATION OPTICAL DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND EXPOSURE METHOD
摘要 <p>L'invention concerne un dispositif optique d'éclairage pouvant réaliser, avec une configuration simple, des configurations d'éclairage différentes, dans deux directions orthogonales l'une par rapport à l'autre sur une surface éclairée. Ce dispositif optique d'éclairage présente un intégrateur optique (6) de type réflexion interne permettant de former une source de lumière secondaire d'une distribution d'une quantité optique prédéterminée, en fonction du flux optique provenant de la source lumineuse (1), et éclaire des surfaces éclairées (8, 10) au moyen du flux optique, par le biais de l'intégrateur optique. Ce dispositif optique d'éclairage est doté d'un moyen (3) de déviation de flux optique qui est disposé sur une trajectoire optique, entre la source de lumière et l'intégrateur optique, de sorte à dévier la position du flux optique sur une surface prédéterminée (4) contre l'axe optique, de sorte à changer la distribution de quantité optique de la source de lumière secondaire, en changeant la distribution angulaire du flux optique arrivant sur l'intégrateur optique.</p>
申请公布号 WO2003041134(P1) 申请公布日期 2003.05.15
申请号 JP2002011406 申请日期 2002.10.31
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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