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发明名称 Herstellverfahren für eine Aluminiumschicht
摘要
申请公布号 DE59709743(D1) 申请公布日期 2003.05.15
申请号 DE19975009743 申请日期 1997.05.22
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHNEEGANS, DR.;DIETRICH, STEFAN;HIRSCH, ALEXANDER
分类号 C23C14/14;C23C14/58;C23C16/20;C23C16/56;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C14/58;H01L21/320 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
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