制备铌酸锂光波导的钛扩散方法及装置

摘要

本发明涉及制备铌酸锂光波导的钛扩散装置及其方法，所述钛扩散装置包括三氧化二铝支架，用于支承待扩散的铌酸锂基片；三氧化二铝陶瓷盒，用于盛装支承有铌酸锂基片的三氧化二铝支架；铌酸锂粉末，置于陶瓷盒底部位于支架的下方；扩散炉，由三氧化二铝陶瓷管和套置在其外周的加热炉管组成，用于产生高温扩散环境；鼓泡装置，用于产生高温的湿氧供给扩散炉。本发明由于采用高纯Al₂O₃管道、容器及支架作为钛扩散装置，克服了高温下在石英容器扩散环境中发生的复杂化学反应，消除了该反应在波导中产生光散射点等缺陷。而在Al₂O₃盒中加入铌酸锂粉末，进一步抑制Li₂O的扩散，提高了波导质量。

主权项

1、一种制备铌酸锂光波导的钛扩散方法，其特征在于包括以下步骤：1)、将光刻有钛膜图形的铌酸锂基片清洗干净；2)、在净化工作台中将洗净后的待扩散铌酸锂基片放置于三氧化二铝支架上；3)、将装置有铌酸锂基片的支架放入三氧化二铝容器盒内，在三氧化二铝容器盒中位于支架下方的位置放入高纯铌酸锂粉末；4)、将装有铌酸锂基片的容器盒放至扩散炉管口，并将其推入到扩散炉恒温区；5)、将扩散炉管口封好；6)、将鼓泡装置的出气口与扩散炉进气口连通，在扩散炉尾部接尾气排放管；7)、将鼓泡装置用控温加热器加热至70℃，将加温后的湿氧通入到扩散炉中，其中湿氧的流量为每分钟一升；8)、启动扩散炉电源，设置好加热温度曲线，将扩散炉升温至1050℃；9)、恒定扩散温度4～12小时；10)、关闭扩散炉电压，待扩散炉温度降至室温后取出铌酸锂基片；11)、关闭鼓泡装置加热电源和氧气。