| 发明名称 | 化学机械研磨装置的晶圆载具结构 | ||
| 摘要 | 一种化学机械研磨装置的晶圆载具结构，包括一研磨头与一研磨垫调节器，其中研磨头具有一底部以及固放在底部的一晶圆边缘压覆环，用以固定一晶圆于研磨头的底部。而研磨垫调节器固定在晶圆边缘压覆环的表面，或是环绕在研磨头的侧边，或是嵌入在晶圆边缘压覆环的表面，以使研磨垫调节器与研磨头结合成一装置。 | ||
| 申请公布号 | CN1416999A | 申请公布日期 | 2003.05.14 |
| 申请号 | CN01131390.0 | 申请日期 | 2001.10.29 |
| 申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 洪永泰;黄启东 |
| 分类号 | B23Q3/06 | 主分类号 | B23Q3/06 |
| 代理机构 | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人 | 王学强 |
| 主权项 | 1.一种化学机械研磨装置的晶圆载具结构，其特征在于：包括：一研磨头，具有一底部以及固放在该底部的一晶圆边缘压覆环，用以固定一晶圆于该研磨头的底部；一研磨垫调节器，该研磨垫调节器固定在该晶圆边缘压覆环的表面。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区力行路16号 | ||