发明名称 A METHOD FOR PRODUCING A METAL FILM, A THIN FILM DEVICE HAVING SUCH METAL FILM AND A LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE HAVING SUCH THIN FILM DEVICE
摘要
申请公布号 EP1309991(A2) 申请公布日期 2003.05.14
申请号 EP20010962899 申请日期 2001.08.02
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 HATTA, YOSHIHISA;MATSUMOTO, AKINORI;LI, SHINICHI
分类号 G02F1/1335;G02F1/136;G02F1/1368;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/336;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/45;H01L29/49;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/321 主分类号 G02F1/1335
代理机构 代理人
主权项
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