CMOS图像传感器中具有减弱的暗电流的有源像素

摘要

一个有源像素，包括一个光电二极管、一个传输门和一个复位晶体管。该光电二极管基本上被一个覆盖层结构所覆盖，因此该光电二极管的整个表面可以得到保护而不至损坏，这基本上消除了可导致暗电流的潜在漏电流源。在一种实施例中，一个FOX区与传输门共同覆盖该光电二极管。

主权项

1.一种形成在半导体衬底内的有源像素，包括：场氧化物(FOX)区，形成在限定一有源区域的所述衬底上；光电二极管，形成在所述半导体衬底内，所述光电二极管的第一部分形成于所述FOX区的下方；输出节点，它形成于所述有源区域内，并临近于所述光电二极管；以及传输门，形成在所述衬底上，并在所述输出节点与所述光电二极管之间，另外其中所述的传输门还形成于所述光电二极管第二部分的顶部，由此该光电二极管的整个表面基本上被该传输门或该FOX区覆盖。