静电驱动器及使用该驱动器的静电微动继电器等其他设备

摘要

通过抑制静电驱动器的接通电压和断开电压等工作电压特性的变动，防止向静电驱动器施加额定电压时，静电驱动器不接通，或断开驱动电压时，静电驱动器不断开的现象。相对置地设置固定电极30和可动电极38，在固定电极30的表面形成绝缘膜31。绝缘膜31以氮化膜(SiN)37为主要材料构成，在氮化膜37的正反两面形成氧化膜(SiO₂)39、48。在绝缘膜31的上表面与可动电极38对置的区域设置有多个突起32。绝缘膜31的带电量主要由氧化膜48的膜厚决定，使用氮化膜47是为确保耐压特性等所需的必要膜厚。

主权项

1.一种静电驱动器，对置设置有第1电极和第2电极，在第1电极和第2电极相对置的区域中，在两电极的至少一个电极对置面上形成绝缘膜，利用向第1电极和第2电极间施加电压时的静电引力，来驱动第1电极和第2电极中的至少一个电极，从而使第1电极和第2电极通过前述绝缘膜而接触，其特征在于，第1电极和第2电极中的至少一个具有带电量控制结构。