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发明名称 Method of depositing piezoelectric films
摘要
申请公布号 GB0308249(D0) 申请公布日期 2003.05.14
申请号 GB20030008249 申请日期 2003.04.10
申请人 TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED 发明人
分类号 H01L41/09;H01L41/187;H03H3/007;H03H3/04;H03H9/02;H03H9/17 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
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