过滤装置

摘要

一种过滤装置，在以往的CMP等机械加工所产生的排水，由于在CMP研磨膏中包含砂粒的微小颗粒形成为胶体溶液，而没有有效的过滤方法。本发明的过滤装置是把含有胶体溶液微小颗粒的排水导入罐50，使排水循环通过在第1过滤器1表面吸引所形成凝胶膜的第2过滤器2过滤的过滤装置。此时吸引压力极微弱，即延迟第2过滤器2堵塞又维持过滤能力。还有利用吸引停止能够容易脱离第1过滤器1表面吸附的第2过滤器2凝胶膜，实现可以持续再过滤的过滤装置。

主权项

1.一种过滤装置，其特征在于，其包括：罐：收容含有胶体溶液被除去物流体；过滤器装置：在所述罐中浸入的第1过滤器和在其表面吸引凝胶膜构成第2过滤器；泵：通过与所述过滤器装置连接的第1管道吸引所述流体；第2管道：把从所述泵流出的过滤流体向所述罐外取出，并且使在所述罐内所述流体的所述被除去物浓缩。