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发明名称 LASER WAVELENGTH CONTROL UNIT WITH PIEZOELECTRIC DRIVER
摘要
申请公布号 EP1310022(A2) 申请公布日期 2003.05.14
申请号 EP20010954584 申请日期 2001.04.30
申请人 CYMER, INC. 发明人 SPANGLER, RONALD, L.;JACQUES, ROBERT, N.;EVERAGE, GEORGE, J.;ANDERSON, STUART, L.;PALENSCHAT, FREDERICK, A.;FOMENKOV, IGOR, V.;SANDSTROM, RICHARD, L.;PARTLO, WILLIAM, N.;ALGOTS, JOHN, M.;BROWN, DANIEL, J., W.
分类号 H01S3/137;G03F7/20;H01S3/036;H01S3/038;H01S3/04;H01S3/041;H01S3/097;H01S3/0971;H01S3/0975;H01S3/104;H01S3/105;H01S3/1055;H01S3/11;H01S3/13;H01S3/131;H01S3/134;H01S3/22;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/22 主分类号 H01S3/137
代理机构 代理人
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