发明名称 Structure and method for doping of III-V compounds
摘要
申请公布号 EP1217665(A3) 申请公布日期 2003.05.14
申请号 EP20010310650 申请日期 2001.12.19
申请人 NORTEL NETWORKS LIMITED 发明人 SPRINGTHORPE, ANTHONY;STREATER, RICHARD W.;JOSHI, ANIKET
分类号 H01L21/22;H01L33/30;H01S5/30;H01S5/34;(IPC1-7):H01L33/00;H01L21/225 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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