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Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Messen eines Massenflusses eines Fluids (3). In herkömmlichen thermischen Sensoren (1) wird ein stationärer, quasistationärer oder extrapolierter stationärer Temperaturunterschied an den Temperatursensoren (5a, 5b) als Mass für die Strömungsgeschwindigkeit v oder den Massenfluss verwendet. Erfindungsgemäss wird eine Pulsdauer (tH) der Heizleistung (P) für das Heizelement (6) so kurz gewählt, dass an den Temperatursensoren (5a, 5b) transiente Temperaturverläufe auftreten, aus denen charakteristische Temperaturen (Tc1, Tc2, Tm1, Tm2) und ein auf Massenfluss eichbares Messsignal bestimmt werden. Ausführungsbeispiele betreffen u. a.: eine Wahl der charakteristischen Temperaturen (Tc1, Tc2, Tm1, Tm2) in einem Maximumsbereich (8) der transienten Temperaturverläufe; eine Wahl maximaler Temperaturwerte (Tm1, Tm2) kleiner als ein stationärer Temperaturwert (T1, T2) des Temperatursensors (5a, 5b); eine Wahl einer Pulsdauer (tH) der Heizleistung (P) kürzer als eine transiente Gesamt-Anstiegszeit (tA); und/oder ein Peakwert-Detektor (7b) zur Signalerfassung. Vorteilhaft sind u. a. extrem kurze Messzeiten und gegebenenfalls hohe Messrepetitionsraten. <IMAGE> <IMAGE>
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