横向塞曼双频激光直线度/同轴度测量装置

摘要

本发明属于激光精密测量技术领域，包括：双频激光器光源、依次设置在该激光器发射端的光路轴线上的望远镜、分光镜、套筒、两个渥拉斯顿棱镜和直角棱镜，分别设置在该分光镜、直角棱镜的反射光路上的两个检偏器和光电接收器，以及与两个光电接收器相连的由信号放大电路、相位器和数据处理器构成的信号处理单元。本发明从原理上消除了四分之一波片带来的热漂移和非线性误差；在第一渥拉斯顿棱镜上装上一对玻璃光楔用以校正出射光相对于原入射光的不对称；采用一套可转动的信号接收装置；具有激光头内部结构简单，仪器尺寸小；激光光源的稳频精度高；长距离漂移的偏差小等优点。

主权项

1、一种横向赛曼双频激光直线度/同轴度测量装置，包括：双频激光器光源、依次设置在该激光器发射端的光路轴线上的望远镜、分光镜、套筒、分束角完全相同的第一、二渥拉斯顿棱镜和直角棱镜，分别设置在该分光镜、直角棱镜的反射光路上的第一检偏器和第一光电接收器、第二检偏器和第二光电接收器，以及与两个光电接收器相连的由信号放大电路、相位器和数据处理器构成的信号处理单元；其特征在于，所说的光源采用低频差稳频横向赛曼激光器，还包括一对玻璃光楔，该一对光楔安装在该第一渥拉斯顿棱镜的两个端面上；所说的套筒为可转动90度的活动套筒，该套筒上开有一中心小孔和一非中心小孔；该第二检偏器和第二光电接收器固定在该活动套筒上，光束通过活动套筒的非中心小孔可被第二光电接收器接收；所说的激光源、望远镜、分光镜、活动套筒、第一、第二检偏器、第一、第二光电接收器均安装在一个底座上，构成激光头。