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发明名称
Semiconductor acceleration sensor and manufacturing method thereof
摘要
申请公布号
EP0671629(B1)
申请公布日期
2003.05.14
申请号
EP19950103255
申请日期
1995.03.07
申请人
DENSO CORPORATION
发明人
UENOYAMA, HIROFUMI;AO, KENICHI;KANOSUE, MASAKAZU;SUZUKI, YASUTOSHI;TAKEUCHI, YUKIHIRO
分类号
G01P15/125;G01P15/08;G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/12;H01L29/00
主分类号
G01P15/125
代理机构
代理人
主权项
地址
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