| 主权项 |
1.一种在搬运出载置于预定场所之晶圆,或将晶圆搬进预定场所之晶圆搬运用机器人之教导方法,其特征为:于晶圆搬运用机器人之机器手设定位用标志,具备有用以摄影前述定位用标志之照相机之教导用板配置在前述预定之场所,用前述照相机摄影前述定位用标志,由操作员操作来修整前述机器手之位置,使前述定位用标志能位于前述照相机所摄取之图像内之预定位置,藉以在水平面内决定前述机器手之位置者。2.如申请专利范围第1项之晶片搬运用机器人之教导方法,其中,操作员操作调整前述机器手之高度方向之位置,对准以前述照相机摄影之前述定位用标志之图像之焦点,以对准焦点之高度为基准而实行前述机器手垂直方向之定位者。3.一种在搬运出载置于预定场所之晶圆,或将晶圆搬进预定场所之晶圆搬运用机器人之教导方法,其特征为:于晶圆搬运用机器人之机器手设定位用标志,具备有用以摄影前述定位用标志之照相机之教导用板配置在前述预定之场所,用前述照相机摄影前述定位用标志,将用前述照相机摄影之前述定位用标志在图像内之前述定位用标志之位置,与将前述机器手定位于正确位置时所得到之前述图像内之前述定位标志之位置间之差异予以计测,以前述差异自动地修整前述机器手之位置,藉以在水平面内决定前述机器手之位置者。4.如申请专利范围第3项之晶片搬运用机器人之教导方法,其中,将前述机器手向垂直方向移动而求得用前述照相机摄影之前述定位用标志之图像之像素浓淡之微分値,在前述微分値超过预定阈値之像素之数量变成最大的位置停止前述机器手,以该时之高度为基准决定前述机器手垂直方向之位置者。5.如申请专利范围第3项之晶片搬运用机器人之教导方法,其中,求得用前述照相机摄影之前述定位用标志之图像之大小,与预定之大小比较前述图像之大小,上下移动前述之机器手,使前述图像之大小能够相等于前述预定之大小,以实行前述机器手之垂直方向之定位者。6.如申请专利范围第1至5项中任一项之晶片搬运用机器人之教导方法,其中,一用具备有以无线电送信前述照相机之图像讯号之发信机之前述教导用板来教导晶圆搬运用机器人者。7.一种教导用板,其特征为,具备有与实际之晶圆同样地定位之形状及尺寸,且具备有可摄影晶圆搬运用机器人之机器手之定位用标志者。8.如申请专利范围第7项之教导用板,其中,具备有可用无线电发送前述照相机之图像讯号之发信机者。图式简单说明:第1图系显示本发明之实施例之晶圆搬运装置之构成图。第2图系显示本发明之实施例之机器手之平面图。第3图系显示本发明之实施例之教导用板之平面图。第4图系显示本发明之实施例之流程图。第5图系说明被拍照体与透镜与图像之关系之说明图。第6图系显示定位前之定位标志图像之图。第7图系显示定位后之定位标志图像之图。第8图系显示本发明之其他实施例之晶圆搬运装置之构成图。第9图系显示本发明之其他实施例之流程图。第10图系显示前端之构成之概念图。 |
