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Bei einem Verfahren zum Aufbringen eines Maßstabes (7) auf einen Träger (1, 2) wird auf den Träger eine Materialschicht (11) derart aufgebracht, daß die Längenänderung aufgrund von Temperaturänderung der Materialschicht (11) wenigstens annähernd Längenänderungen des Trägers (1, 2) aufgrund von Temperaturänderungen entspricht. Der Maßstab (7) mit einer Meßskala (7a) wird in oder auf die Materialschicht (11) ein- bzw. aufgebracht. Der Träger kann ein optisches Element, z. B. eine Linse (1) eines Objektives (5) für die Halbleiter-Lithographie, sein.
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