发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Leiterplatte
摘要
申请公布号 DE69431175(T2) 申请公布日期 2003.05.08
申请号 DE1994631175T 申请日期 1994.06.01
申请人 HITACHI CHEMICAL CO., LTD.;HITACHI, LTD. 发明人 OHTA, FUMIHIKO;NOJIRI, TAKESHI;TSUCHIKAWA, SHINJI;NAKANO, AKIO;ISHIMARU, TOSHIAKI;YAMAZAKI, HIROSHI;AKABOSHI, HARUO;KAWAMOTO, MINEO;TAKAHASHI, AKIO
分类号 G03F7/027;C23C18/16;G03F7/028;G03F7/033;H05K3/00;H05K3/18;(IPC1-7):H05K3/18 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人
主权项
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