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发明名称 ERZEUGUNG EINES DICHTEN NEBELS VON MIKROMETRISCHEN TRÖPFCHEN INSBESONDERE FÜR DIE EUV- LITHOGRAPHIE
摘要
申请公布号 DE60001981(D1) 申请公布日期 2003.05.08
申请号 DE2000601981 申请日期 2000.10.17
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS 发明人 SCHMIDT, MARTIN;SUBLEMONTIER, OLIVIER
分类号 G21K5/02;B05B1/00;B05B17/00;G03F7/20;G21K5/08;G21K7/00;H01L21/027;H05G2/00;(IPC1-7):H05G2/00 主分类号 G21K5/02
代理机构 代理人
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