发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle mittels eines Epitaxialwachstumsverfahrens
摘要
申请公布号 DE4193392(C2) 申请公布日期 2003.05.08
申请号 DE19914193392 申请日期 1991.12.20
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 NISHIDA, SHOJI;YONEHARA, TAKAO
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L31/0368;H01L31/0392;H01L31/04;H01L31/072;H01L31/075;H01L31/18;(IPC1-7):H01L31/039;H01L31/036 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址