Siliziumkarbidbeschichtung auf einem Substrat und Verfahren zur Herstellung einer Siliziumkarbidbeschichtung auf einem Substrat sowie Verwendung der Siliziumkarbidbeschichtung
摘要
申请公布号
DE19740610(C2)
申请公布日期
2003.05.08
申请号
DE19971040610
申请日期
1997.09.12
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
