| 发明名称 |
Aluminiumverbindungen zur Herstellung von Aluminiumschichten durch chemische Gasphasen-Abscheidung und deren Herstellung |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69904129(T2) |
申请公布日期 |
2003.05.08 |
| 申请号 |
DE19996004129T |
申请日期 |
1999.09.01 |
| 申请人 |
ROHM AND HAAS CO., PHILADELPHIA |
发明人 |
SHIN, HYUN-KOOCK |
| 分类号 |
C07F5/06;C23C16/20;(IPC1-7):C07F5/06 |
主分类号 |
C07F5/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
