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发明名称
SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号
JP2003129235(A)
申请公布日期
2003.05.08
申请号
JP20010328624
申请日期
2001.10.26
申请人
ULVAC JAPAN LTD
发明人
SUESHIRO SEISUKE;SHISHIKURA MASATO;OZORA HIROKI
分类号
B65G49/00;B65G49/07;C23C14/22;C23C14/34;C23C14/56;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
B65G49/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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