发明名称 Ionenstrahl-Bearbeitungsapparat
摘要
申请公布号 DE69622463(T2) 申请公布日期 2003.05.08
申请号 DE19966022463T 申请日期 1996.04.26
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 ICHIMURA, SATOSHI;SATO, TADASHI;KOBAYASHI, KENZO;OHISHI, SHOTARO;OONUKI, HISAO
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01J27/16;H01J27/18;H01J37/02;H01J37/08;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/30;H01J37/317;H01J37/32;C23C14/22;C23C14/46;C23C16/02;C23C16/50 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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