微阵列浮雕积分器件

摘要

一种适用于深度光刻设备照明系统的微阵列浮雕积分器件微阵列，其两个面均为正六边形的浮雕结构，且两个面上的浮雕图形是通过深度光刻加工而成，它对深度光刻机掩模和硅片间的衍射效应起到很好的平滑作用，同时对照明系统的光进行微分和积分，使达到掩模和硅片面的光能分布得到很高的均匀性，从而提高光刻分辨力；与光栏相配合使用，能改变深度光刻系统的聚光角，更好的起到平滑衍射效应的作用，从而增大线条的高宽比，提高了线条的质量。本实用新型兼有目前几种光学积分器件的优点，同时也克服了其缺点和不足，大大降低了其加工和装配难度，使掩模和硅片上的能量分布是各向同性分布的。

主权项

1、一种适用于深度光刻设备照明系统的微阵列浮雕积分器件，其特征在于：积分器件的两个面均为正六边形的浮雕结构，且两个面上的浮雕图形是通过深度光刻加工而成。