EXTERNALLY EXCITED TORROIDAL PLASMA SOURCE,申请号EP20010964028-传众专利搜索

发明名称	EXTERNALLY EXCITED TORROIDAL PLASMA SOURCE
摘要
申请公布号	EP1307896(A2)	申请公布日期	2003.05.07
申请号	EP20010964028	申请日期	2001.08.13
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	HANAWA, HIROJI;YE, YAN;COLLINS, KENNETH, S.;RAMASWAMY, KARTIK;NGUYEN, ANDREW;TANAKA, TSUTOMU
分类号	H05H1/46;B01J3/00;B01J19/08;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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