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发明名称
摘要
申请公布号	JP2003515517(A)	申请公布日期	2003.05.07
申请号	JP20010540827	申请日期	2000.11.27
申请人		发明人
分类号	C30B29/06;H01L21/04;H01L21/20;H01L21/203;H01L29/04;H01L29/78;(IPC1-7):C30B29/06	主分类号	C30B29/06
代理机构		代理人
主权项
地址

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