发明名称 具有磁场、电场的杂质过滤器
摘要 本发明涉及一种具有磁场及/或电场的杂质过滤器,包含:一弯曲的小直径管道,管道外的磁场及/或电场,管道的内管壁由多孔材料或纤维材料制成,用于吸收液体或气体中的杂质。其中弯曲的小直径管道置于磁场及/或电场中,当液体或气体流经弯曲的小直径管道时,液体或气体中极化的粒子或带电的离子会受磁场及/或电场的作用,撞击弯曲的小直径管道的管壁,从而被多孔材料或纤维材料制成的管壁有效地吸收。
申请公布号 CN1415399A 申请公布日期 2003.05.07
申请号 CN02145357.8 申请日期 2002.11.25
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 刘勇
分类号 B01D35/06 主分类号 B01D35/06
代理机构 上海新天专利代理有限公司 代理人 马连富
主权项 1、一种具有磁场及/或电场的杂质过滤器,包含:弯曲的小直径管道、磁场及/或电场和多孔材料或纤维材料,其特征在于置于磁场及/或电场中的弯曲的小直径管道内壁上有由多孔材料或纤维材料制成的,吸纳极化粒子或带电离子微粒的内壁。
地址 201203上海市浦东新区张江路18号