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发明名称 PROCESS FOR MANUFACTURING A MICROELECTRONIC DEVICE
摘要
申请公布号 EP1307785(A2) 申请公布日期 2003.05.07
申请号 EP20010949500 申请日期 2001.07.20
申请人 CLARIANT INTERNATIONAL LTD. 发明人 DAMMEL, RALPH, R.;EAKIN, RONALD, J.;SPAK, MARK, A.
分类号 G03F7/00;G03F7/32;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/40 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
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