喷墨头的芯片制造方法

摘要

一种喷墨头的芯片制造方法，包括下列步骤：提供一芯片，该芯片上设有多个喷墨元件；在芯片上形成感光保护层；在感光保护层上方提供光掩模图案，以光蚀刻方式在感光保护层上形成供墨通道预定区；将芯片进行喷砂打洞，使芯片形成贯穿芯片的供墨通道；再将感光保护层去除。这样，可将感光保护层上的供墨通道预定区精密地对准在芯片上，使芯片上的供墨通道的制作更为精确及迅速。

主权项

1.一种喷墨头的芯片制造方法，该制造方法包括下列步骤：提供一芯片，该芯片设有多个喷墨组件；在该芯片上形成一感光保护层；在该感光保护层上方提供一光掩模图案，以光蚀刻方式在该保护层上形成供墨通道预定区；将该芯片进行喷砂打洞，使该芯片形成贯穿芯片的供墨通道；再将感光保护层去除。