导向轴套和往导向轴套上覆盖膜的形成方法

摘要

在被装在自动车床上的在切削工具附近对被加工件(51)可以转动和在轴方向滑动地进行保持的导向轴套(11)的、与被加工件(51)相滑动接触的内周面(11b)和其开口端面的靠近内周面部分(11h)上，直接或经用于提高粘结性的中间层，或先设置硬质部件再直接或经用于提高粘结性的中间层，由使用辅助电极和模型部件的等离子体CVD工艺而形成硬质碳膜(15)。由此，可以显著提高导向轴套(11)的耐久性，即使是在自动车床长期使用或进行重切削时，也可以防止出现因烧伤而使切削不能进行的情况。又，还可以防止发生因被加工件的毛刺而对导向轴套(11)的内周面所造成的损伤。

主权项

1.一种往导向轴套上形成覆盖膜的方法，其中该导向轴套形成为在轴方向具有中心开口的圆筒状，在其一端部上具有外周锥形面、与被加工件相滑动接触的内周面和开槽，且当其被装在自动车床上时，可以在切削工具的附近对插入到上述中心开口内的被加工件可以转动和沿轴方向滑动地进行保持，其特征在于：将上述导向轴套配置在具有气体导入口和排气口的真空室内，在该导向轴套的形成上述内周面的中心开口内插入辅助电极，并使该辅助电极处于接地电位或施加直流正电压，将具有比该导向轴套的上述中心开口的直径要大的开口径的环状的模型部件，在该导向轴套的上述内周面开口的端面上与上述中心开口之间中心一致地得到配置，使上述端面的上述内周面的附近部分以环状露出，在将上述真空室内排气后，从上述气体导入口向该真空室内导入含碳气体，使上述真空室内发生等离子体，由等离子体CVD工艺，在上述导向轴套的上述内周面和上述端面的该内周面附近部分上形成氢化无固定形碳膜。