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发明名称 FREQUENCY TRANSFORM PHASE SHIFTING INTERFEROMETRY
摘要
申请公布号 EP1307702(A1) 申请公布日期 2003.05.07
申请号 EP20010956129 申请日期 2001.08.02
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 DECK, LESLIE, L.
分类号 G01B9/02;G01B11/06;G01B11/24;(IPC1-7):G01B9/02;G01B11/30 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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