| 发明名称 |
Contactless local interconnect process utilizing self-aligned silicide |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2381659(A) |
申请公布日期 |
2003.05.07 |
| 申请号 |
GB20020014919 |
申请日期 |
2002.06.27 |
| 申请人 |
* AGERE SYSTEMS GUARDIAN CORPORATION |
发明人 |
SEUNGMOO * CHOI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L29/423;H01L29/49;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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