| 发明名称 |
HANDLING DEVICE FOR PREPARING A WAFER STACK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1208584(B1) |
申请公布日期 |
2003.05.07 |
| 申请号 |
EP20000951185 |
申请日期 |
2000.08.24 |
| 申请人 |
BROOKS AUTOMATION AG |
发明人 |
FEDERICI, RUDY;BLATTNER, JAKOB |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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