Dispersion containing abrasive particles produced by pyrogenesis which contain superparamagnetic domains

摘要

Abrasivpartikel enthaltende Dispersion, die pyrogen hergestellte Partikel enthält, die superparamagnetischen Metalloxid-Domänen in einer nichtmagnetischen Metall- oder Metalloidoxid-Matrix aufweisen. Die Dispersion kann eine mittlere Partikelgröße von weniger als 400 nm und eine BET-Oberfläche von 50 bis 600 m<2>/g aufweisen. Die Dispersion kann hergestellt werden, indem die Abrasivpartikel mit mindestens 200 kJ/m<3> dispergiert werden. Besonders bevorzugt ist eine Vorrichtung, bei der die Abrasivpartikel unter hohem Druck stehend, über eine Düse entspannt werden und miteinander oder gegen Wandbereiche der Vorrichtung kollidieren. Die Dispersion kann beim chemisch-mechanischen Polieren (CMP) eingesetzt werden.