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Apparatus for masking or covering of substrates
摘要
申请公布号
EP0801143(B1)
申请公布日期
2003.05.07
申请号
EP19970101697
申请日期
1997.02.04
申请人
SINGULUS TECHNOLOGIES AG
发明人
KEMPF, STEFAN
分类号
C23C14/04;G11B7/26;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/04;C23C14/34
主分类号
C23C14/04
代理机构
代理人
主权项
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