| 发明名称 |
Method of fabricating silicon capacitive sensor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1271121(A3) |
申请公布日期 |
2003.05.02 |
| 申请号 |
EP20020021362 |
申请日期 |
1999.07.07 |
| 申请人 |
THE GOODYEAR TIRE & RUBBER COMPANY |
发明人 |
KO, WEN H.;WANG, QIANG |
| 分类号 |
G01L1/14;G01L9/12;(IPC1-7):G01L9/12 |
主分类号 |
G01L1/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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