| 发明名称 |
Precursor with alkylaminosilylolefin ligands to deposit copper and method for same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0855399(B1) |
申请公布日期 |
2003.05.02 |
| 申请号 |
EP19970309120 |
申请日期 |
1997.11.13 |
| 申请人 |
SHARP KABUSHIKI KAISHA;SHARP MICROELECTRONICS TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
SENZAKI, YOSHIHIDE |
| 分类号 |
C07F7/08;C07F7/18;C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C07F7/18 |
主分类号 |
C07F7/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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