发明名称 A MEM SENSOR AND A METHOD OF MAKING SAME
摘要
申请公布号 EP1305640(A2) 申请公布日期 2003.05.02
申请号 EP20010956027 申请日期 2001.07.27
申请人 HRL LABORATORIES, LLC;HUGHES ELECTRONICS CORPORATION 发明人 KUBENA, RANDALL, L.;LITTLE, MICHAEL, J.;HACKETT, LEROY, H.
分类号 B81B3/00;B81C1/00;H01H59/00;(IPC1-7):G01P15/08;B81C3/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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