发明名称 PROCESS FOR MAKING A PERIODIC PROFILE
摘要
申请公布号 EP1305672(A2) 申请公布日期 2003.05.02
申请号 EP20010951810 申请日期 2001.07.25
申请人 QINETIQ LIMITED 发明人 BRYAN-BROWN, GUY PETER;WOOD, EMMA LOUISE
分类号 G03F7/00;G03F7/095;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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