| 主权项 |
1.一种晶圆载架辨识系统,包括:一晶圆载架,具有一记忆体模组,该记忆体模组中纪录一载架识别资料;一个人数位助理,用以读取该记忆体模组中之该载架识别资料,并传送出该载架识别资料;以及一载架资讯伺服器,具有一资料库,用以接收该载架识别资料,依据该载架识别资料检索该资料库,从而得到相应该载架识别资料之一载架资讯,并将该载架资讯传送回该个人数位助理。2.如申请专利第1项所述之系统,其中该载架识别资料包含载架识别码。3.如申请专利第1项所述之系统,其中该载架识别资料包含批货码。4.如申请专利第1项所述之系统,其中该载架识别资料包含晶圆槽数目。5.如申请专利第1项所述之系统,其中该个人数位助理读取该记忆体模组中之该载架识别资料系使用一浏览器透过红外线进行读取。6.如申请专利第1项所述之系统,其中该载架资讯伺服器系透过一存取介面接收该载架识别资料。7.如申请专利第1项所述之系统,其中该载架资讯包括批货资讯。8.如申请专利第1项所述之系统,其中该载架资讯包括执行机台资讯。9.如申请专利第1项所述之系统,其中该载架资讯包括制程程式资讯。10.如申请专利第1项所述之系统,其中该载架资讯包括清洗日期资讯。11.一种晶圆载架辨识方法,包括下列步骤:提供具有一记忆体模组之一晶圆载架,该记忆体模组中纪录一载架识别资料;透过一个人数位助理读取该记忆体模组中之该载架识别资料,并传送出该载架识别资料;接收该载架识别资料,依据该载架识别资料检索相应之一载架资讯;以及将该载架资讯传送回该个人数位助理。12.如申请专利第11项所述之方法,其中该载架识别资料包含载架识别码。13.如申请专利第11项所述之方法,其中该载架识别资料包含批货码。14.如申请专利第11项所述之方法,其中该载架识别资料包含晶圆槽数目。15.如申请专利第11项所述之方法,其中该个人数位助理读取该记忆体模组中之该载架识别资料系使用一浏览器透过红外线进行读取。16.如申请专利第11项所述之方法,其中该载架资讯包括批货资讯。17.如申请专利第11项所述之方法,其中该载架资讯包括执行机台资讯。18.如申请专利第11项所述之方法,其中该载架资讯包括制程程式资讯。19.如申请专利第11项所述之方法,其中该载架资讯包括清洗日期资讯。图式简单说明:第1图系显示一依据本发明实施例之一种晶圆载架辨识系统之系统架构。第2图系显示一依据本发明实施例之一种晶圆载架辨识方法之操作流程。 |
