| 主权项 |
1.一种光罩守卫过滤方法,用以在一待使用光罩载入一待使用机台之前进行过滤,该方法包括以下步骤:储存一第一资料表,该第一资料表将复数光罩之识别码与该些光罩之状态値相互对映;指定该些光罩之一为该待使用光罩;读取该待使用光罩之识别码;自该第一资料表取得与该待使用光罩识别码对映之状态値;以及当该取得之状态値系一有效値时,允许该待使用光罩载入该待使用机台,当该取得之状态値系一无效値时,禁止该待使用光罩载入该待使用机台。2.如申请专利范围第1项所述之光罩守卫过滤方法,其中该第一资料表更将该些光罩之识别码与该些光罩之规格値相互对映,该方法更包括以下步骤:储存一第二资料表,该第二资料表将该些光罩之规格値与复数机台之识别码相互对映;自该第一资料表取得与该待使用光罩识别码对映之规格値;依据该第二资料表检查该取得之规格値是否与该待使用机台之识别码对映;以及当该取得之规格値与该待使用机台之识别码对映且该取得之状态値系该有效値时,允许该待使用光罩载入该待使用机台。3.如申请专利范围第1项所述之光罩守卫过滤方法,其中该些状态値系用以表示该些光罩之使用状态,该有效値系代表该光罩可使用,该无效値系代表该光罩不可使用。4.如申请专利范围第1项所述之光罩守卫过滤方法,其中该些状态値系用以表示该些光罩之一最近检查时间,更包括以下步骤:储存一第一有效期间値;读取一现在时间;检查该现在时间是否超过该第一有效期间値与该最近检查时间之和;以及当该现在时间超过该第一有效期间値与该最近检查时间之和时,将该状态値视为该无效値,当该第一有效期间値与该最近检查时间之和超过该现在时间时,将该状态値视为该有效値。5.如申请专利范围第1项所述之光罩守卫过滤方法,其中该些状态値系用以表示该些光罩之储放箱最近清洗时间,更包括以下步骤:储存一第二有效期间値;读取一现在时间;检查该现在时间是否超过该第二有效期间値与该储放箱最近清洗时间之和;以及当该现在时间超过该第二有效期间値与该储放箱最近清洗时间之和时,将该状态値视为该无效値,当该第一有效期间値与该储放箱最近清洗时间之和超过该现在时间时,将该状态値视为该有效値。6.一种光罩守卫过滤系统,用以在一待使用光罩载入一待使用机台之前进行过滤,包括:一储存装置,储存一第一资料表,该第一资料表将复数光罩之识别码与该些光罩之状态値相互对映;一输入装置,经由该输入装置指定该些光罩之一为该待使用光罩;一读取装置,读取该待使用光罩之识别码;以及一处理装置,自该第一资料表取得与该待使用光罩识别码对映之状态値,当该取得之状态値系一有效値时,允许该待使用光罩载入该待使用机台,当该取得之状态値系一无效値时,禁止该待使用光罩载入该待使用机台。7.如申请专利范围第6项所述之光罩守卫过滤系统,其中该第一资料表更将该些光罩之识别码与该些光罩之规格値相互对映,该储存装置更储存一第二资料表,该第二资料表将该些光罩之规格値与复数机台之识别码相互对映,该处理装置更自该第一资料表取得与该待使用光罩识别码对映之规格値,并依据该第二资料表检查该取得之规格値是否与该待使用机台之识别码对映,当该取得之规格値与该待使用机台之识别码对映且该取得之状态値系该有效値时,允许该待使用光罩载入该待使用机台。8.如申请专利范围第6项所述之光罩守卫过滤系统,其中该些状态値系用以表示该些光罩之使用状态,该有效値系代表该光罩可使用,该无效値系代表该光罩不可使用。9.如申请专利范围第6项所述之光罩守卫过滤系统,其中该些状态値系用以表示该些光罩之一最近检查时间,该储存装置更储存一第一有效期间値,该处理装置更读取一现在时间并检查该现在时间是否超过该第一有效期间値与该最近检查时间之和,当该现在时间超过该第一有效期间値与该最近检查时间之和时,将该状态値视为该无效値,当该第一有效期间値与该最近检查时间之和超过该现在时间时,将该状态値视为该有效値。10.如申请专利范围第6项所述之光罩守卫过滤系统,其中该些状态値系用以表示该些光罩之储放箱最近清洗时间,该储存装置更储存一第二有效期间値,该处理装置更读取一现在时间,并检查该现在时间是否超过该第二有效期间値与该储放箱最近清洗时间之和,当该现在时间超过该第二有效期间値与该储放箱最近清洗时间之和时,将该状态値视为该无效値,当该第一有效期间値与该储放箱最近清洗时间之和超过该现在时间时,将该状态値视为该有效値。图式简单说明:第1A、1B、1C图显示本发明一实施例中之光罩状态资料表、相容性资料表及有效期间资料;第2图显示本发明一实施例中之光罩守卫过滤系统之方块图;第3图显示本发明一实施例中之光罩守卫过滤方法之流程图。 |
