摘要 |
<p>La présente invention concerne des dispositifs thermo-optiques comprenant une couche de gainage de fond, un matériau central dessiné et une couche de gainage supérieure, chacun de ces composants possédant un indice de réfraction différent. On peut fabriquer ces dispositifs en déposant un matériau chauffant, tel que du tungstène ou du chrome, sur l'extérieur de la couche de gainage de fond et/ou supérieure. La quantité de matériau chauffant peut également varier en fonction des différences d'indice de réfraction entre les couches de gainage et les couches centrales. Le matériau chauffant peut entourer les couches de gainage, il peut être présent sur les parois latérales et sur la couche supérieure uniquement ou sur les parois latérales uniquement de façon à fournir assez de chaleur pour modifier l'indice de réfraction des couches et ainsi modifier le trajet de la lumière passant à travers le dispositif. Ces dispositifs lorsqu'ils sont construits dans le substrat peuvent être connectés à des dispositifs sous-jacents et à des composants formés sur le même substrat de manière à augmenter l'intégration.</p> |