| 摘要 |
<p>L'invention concerne des structures micro-usinées à surface renforcée, et un procédé de fabrication correspondant. Un substrat en silicium (10) est d'abord attaqué, donnant un moule qui contient plusieurs tranchées ou rainures (14) à configuration en treillis. On développe ensuite de l'oxyde sacrifié (15) sur le substrat (10), puis un élément de renforcement (16) au nitrure de silicium est déposé à la surface du substrat, remplissant les rainures de nitrure de silicium. Une fois mis en forme, ce nitrure de silicium donne des éléments mécaniques, et on dépose alors du métal (40), également mis en forme pour la constitution des conducteurs et des condensateurs nécessaires à l'actionnement électrostatique des éléments mécaniques en question. Enfin, on élimine le silicium sous-jacent et l'oxyde sacrifié en attaquant le moule par le dessous des dispositifs micro-usinés ainsi réalisés, laissant apparaître des dispositifs au nitrure de silicium se dressant librement et dotés de nervures verticales. Les dispositifs considérés ont une rigidité accrue de courbure hors plan en raison de la présence des nervures verticales de renforcement. L'invention concerne également des miroirs de pointage bi-axial au nitrure de silicium, équipés de ces nervures.</p> |
