发明名称 Schmalbandiger Excimerlaser und Optik dafür
摘要
申请公布号 DE19857369(C2) 申请公布日期 2003.04.30
申请号 DE19981057369 申请日期 1998.12.11
申请人 KOMATSU LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 TANAKA, HIROKAZU;IGARASHI, TORU
分类号 G02B5/04;H01S3/08;H01S3/106;H01S3/225;(IPC1-7):G02B1/02;H01S3/034 主分类号 G02B5/04
代理机构 代理人
主权项
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