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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung biokompatibler Strukturen. Dazu wird zunächst ein chemisch verstärkter Fotoresist auf einem Substrat aufgetragen und strukturiert. Der Fotoresist umfasst ein Polymer, welches Ankergruppen für die Anknüpfung einer biokompatiblen Verbindung aufweist. Nach der Strukturierung des Resists wird eine Lösung der biokompatiblen Verbindung aufgetragen, so dass die biokompatible Verbindung an die Ankergruppen des Polymers koordiniert wird.
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