一种电容式倾角敏感器件结构

摘要

一种电容式倾角敏感器件结构，由支承座(1)、电容固定电极(2)、绝缘电介质层(3)、夹层腔体结构(4)和液态导电体(5)组成。支承座由绝缘材料制成，与电容固定电极配合，构成对于工作轴旋转对称的夹层腔体结构，夹层腔体中装入适量液态导电体，电容固定电极表面绝缘电介质层构成电容的电介质层，并将液态导电体与电容固定电极绝缘隔离，液态导电体与绝缘电介质层的接触面形成可变电容的运动电极，工作轴旋转使倾角变化，电容量随之改变。

主权项

1、一种电容式倾角敏感器件结构，由支承座、电容电极、绝缘电介质层或电介质层和绝缘层的组合层、夹层腔体结构和液态导电体组成，其特征在于：支承座采用绝缘材料制成，其主要作用是支撑联接电容固定电极，由支承座和电容固定电极构成具有夹层腔体的结构，在电容固定电极表面生成绝缘电介质层，或者生成由电介质层和绝缘层构成的复合层，在夹层腔体中装入液态导电体，电容固定电极表面绝缘电介质层或复合层构成电容的电介质层，并且将液态导电体与电容固定电极绝缘隔离，液态导电体与电容固定电极表面绝缘电介质层或复合层的接触面形成可变电容的运动电极，构成独立可变电容方式或差动可变电容方式结构，夹层腔体中液态导电体的取量一般根据下述条件：当倾角传感器敏感器件的倾角从零变化到满量程或最大可测量倾斜角时，对于独立可变电容方式，液态导电体与电容固定电极表面绝缘电介质层的接触面一般从完全覆盖到全部分离状态，或者从完全分离到全部覆盖状态，对于差动可变电容方式，液态导电体一般从等面积覆盖差动电容固定电极对的两个电极，变化为全部移动到差动电容固定电极对之一个电极所对应的腔体中，或者相反地从全部在差动电容固定电极对之一个电极所对应的腔体中，移动变化为等面积覆盖差动电容固定电极对的两个电极，当电容式倾角敏感器件绕单一工作轴线或者多个工作轴线旋转时，倾角发生变化，对于独立可变电容方式，单个独立电容或相应于多维工作轴的多个独立电容分别相应发生变化，对于差动可变电容方式，各组内两两组合分组配置的差动电容相应同时分别增大和减小。