Eine Lötperlenstruktur und ein Verfahren zur Herstellung derselben

摘要

Eine Lötperlenstruktur und ein Verfahren zur Herstellung derselben werden beschrieben. Über eine Anschlussfläche werden ein erster und ein zweiter Metallfilm abgeschieden, wobei der zweite Metallfilm vor der Abscheidung eines Lötperlenmaterials strukturiert wird, so dass eine Öffnung ein inneres Gebiet des zweiten Metallfilms von einem äußeren Gebiet des zweiten Metallfilms trennt. Das auf dem inneren Gebiet und zumindest teilweise in der Öffnung abgeschiedene Lötmaterial dient als Ätzstopp für eine nachfolgende Entfernung des äußeren Gebiets.