| 摘要 |
Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauelements, das zumindest zwei Stacked-Crystal-Filter umfasst. Durch das Abscheiden des Schichtstapels über der unteren Elektrode und der anschließenden Strukturierung der oberen elektrisch leitfähigen Schicht und ggf. zweiten piezoelektrischen Schicht kann auf einfache Weise, mit einem Minimum an Prozessschritten, ein piezoelektrisches Bauelement erzeugt werden, das zwei Stacked-Crystal-Filter umfasst, die über ihre untere und mittlere Elektrode direkt miteinander verbunden sind. Das erfindungsgemäße piezoelektrische Bauelement besitzt darüber hinaus den Vorteil, dass Anwendungen, bei denen es auf eine hohe Sperrbanddämpfung ankommt, mit einer relativ geringen Anzahl an Filterstufen realisiert werden können. Dabei kann durch den Einsatz von zumindest zwei Stacked-Crystal-Filtern eine ausgezeichnete Fernabselektion auch für "single-ended Signale" erzielt werden. |
