| 摘要 |
<p>Um ein leichtes und reibungsfreies Trennen von Substraten zu ermöglichen sieht die vorliegende Erfindung einen Substrathalter mit wenigstens zwei Substrataufnahmen (8, 9) mit im Wesentlichen gleichen Umfangsabmessungen zur Aufnahme von scheibenförmigen Substraten dazwischen vor, wobei wenigstens eine der Substrataufnahmen (9) eine Vertiefung (12) zur Aufnahme der Substrate aufweist. An wenigstens einer der Substrataufnahmen ist wenigstens einen Magnet zum Zusammenzuhalten der Substrataufnahmen vorgesehen, und, wenigstens eine Ausnehmung (24) in einer ersten der Substrataufnahmen ermöglicht ein Hintergreifen einer zweiten der Substrataufnahmen, während wenigstens eine Öffnung (14) in der zweiten Substrataufnahme ein Hindurchführen eines Halteelements einer Handhabungsvorrichtung ermöglicht. Ferner ist auch ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Aufnehmen von Substraten mit wenigstens ersten und zweiten Substrataufnahmen mit im Wesentlichen gleichen Umfangsabmessungen zur Aufnahme von scheibenförmigen Substraten dazwischen angegeben, wobei wenigstens eine der Substrataufnahmen wenigstens einen Magneten zum Zusammenzuhalten der Substrataufnahmen aufweist. Eine Handhabungsvorrichtung zum Trennen der Substrataufnahmen, die wenigstens ein Halteelement zum stationären Halten der ersten Substrataufnahme sowie wenigstens ein zum Halteelement relativ bewegbares Greifelement zum Greifen und Bewegen der zweiten Substrataufnahme aufweist, ist vorgesehen, wobei das Greifelement in eine geöffnete, die zweite Substrataufnahme freigebende und eine geschlossene, die zweite Substrataufnahme freigebende und eine geschlossene, die zweite Substrataufnahme hintergeifende Stellung bewegbar ist, und in einer Richtung im Wesentlichen senkrecht zu eine Verbindungsebene der Substrataufnahmen beweglich ist.</p> |
